杠杆配资公司北方华创申请升降旋转机构和半导体工艺腔室专利, 提高基座及其上承载的晶圆水平位置及水平度的稳定性及精确性

金融界2025年6月10日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“升降旋转机构和半导体工艺腔室”的专利，公开号CN120119219A杠杆配资公司，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本发明提供一种升降旋转机构和半导体工艺腔室，升降旋转机构包括驱动轴承、升降座、升降驱动组件、旋转驱动组件和多个导向杆，其中多个导向杆平行设置，且导向杆的顶部用于与腔体底部固定连接，升降座活动设置在多个导向杆上，驱动轴承的轴套固定设置在升降座上，驱动轴承的中心轴的顶端用于穿过腔体并与位于腔体内的基座连接，升降驱动组件用于驱动升降座沿导向杆升降运动，以带动中心轴及基座升降运动，旋转驱动组件用于驱动中心轴在轴套中绕自身轴线转动，以带动基座转动。在本发明中多个导向杆能够将中心轴以及基座的运动方向限制在导向杆的延伸方向上，提高基座及其上承载的晶圆水平位置及水平度的稳定性及精确性，保证半导体工艺效果。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目1066次，财产线索方面有商标信息66条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

本文源自：金融界

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